تجهیزات پلاسما RF درون خطی خلاء

وکیوم Inline RF Plasma Equipment یک قطعه تخصصی از تجهیزات است که برای تمیز کردن و فعال کردن سطوح برد مدار چاپی، به ویژه برای کاربردهای زیرلایه IC توسعه یافته است. این عمدتاً پس از مرحله تصویربرداری فیلم خشک و پوشش ماسک{1} پس از لحیم کاری استفاده می شود، جایی که آماده سازی سطح مناسب برای بهبود استحکام چسبندگی و اطمینان از قابلیت اطمینان بالاتر در طول فرآیندهای بعدی بسیار مهم است. با اعمال تصفیه پلاسما در داخل یک محفظه خلاء کنترل شده، سیستم به طور موثری باقیمانده های آلی و آلودگی های سطحی را حذف می کند و عملکرد کلی پیوند و کیفیت محصول را افزایش می دهد.

یکی از ویژگی های متمایز این تجهیزات، معماری اتاقک دوگانه- آن است. هر محفظه به طور مستقل به یک پمپ خلاء و یک ژنراتور پلاسما RF مجهز است که امکان عملیات موازی یا استفاده متناوب را فراهم می کند. این نه تنها توان عملیاتی را افزایش می دهد، بلکه انعطاف پذیری عملیاتی را نیز فراهم می کند. برای حفظ پایداری درازمدت، سیستم یک ماژول خنک‌کننده حلقه بسته را ادغام می‌کند که دمای عملکرد ثابت را هم برای پمپ‌ها و هم برای منابع پلاسما تضمین می‌کند. برای خطوط تولیدی که نیاز به اتوماسیون دارند، مکانیسم های بارگیری و تخلیه اختیاری را می توان اضافه کرد تا جابجایی دستی را به حداقل برساند و اتصال بدون درز با تجهیزات بالادست و پایین دست را تسهیل کند.

جریان مواد درون سیستم به دقت طراحی شده است. تخته ها به ایستگاه ورودی تحویل داده می شوند و توسط دستگیره های رباتیک ایمن می شوند، که سپس بسترها را در یک قاب زیر- قرار می دهند. تخته ها که توسط یک پلت فرم آسانسور و غلتک های محرک پشتیبانی می شوند، برای درمان پلاسما به داخل محفظه خلاء منتقل می شوند. پس از اتمام پردازش، همان غلتک‌ها تخته‌ها را به خارج از محفظه منتقل می‌کنند، جایی که گیره‌ها دوباره آن‌ها را برمی‌دارند و به مرحله بعدی تحویل می‌دهند. فریم فرعی به‌طور خودکار بین ایستگاه‌ها چرخش می‌کند و از یک جریان کاری روان و کارآمد بدون توقف غیرضروری اطمینان می‌دهد.