کاربردهای خاص پاک کننده های پلاسما

ماشین‌های تمیزکننده/اچ کردن پلاسما با قرار دادن دو الکترود در یک ظرف مهر و موم شده برای ایجاد میدان الکتریکی، پلاسما تولید می‌کنند. پمپ خلاء برای حفظ یک سطح خلاء مشخص استفاده می شود. همانطور که گاز به طور فزاینده کمیاب می شود، فاصله بین مولکول ها و حرکت آزاد مولکول ها یا یون ها نیز افزایش می یابد. تحت تأثیر میدان الکتریکی، این یون ها با هم برخورد کرده و پلاسما را تشکیل می دهند. این یون‌ها بسیار واکنش‌پذیر هستند و انرژی کافی برای شکستن تقریباً تمام پیوندهای شیمیایی دارند و واکنش‌های شیمیایی را در هر سطح در معرض القا می‌کنند. پلاسماهای گازی مختلف خواص شیمیایی متفاوتی دارند. به عنوان مثال، پلاسمای اکسیژن بسیار اکسید کننده است، قادر به اکسیداسیون نور مقاوم برای تولید گاز، در نتیجه دستیابی به یک اثر پاک کنندگی است. پلاسمای گاز خورنده دارای ناهمسانگردی عالی است که الزامات اچ را برآورده می کند. درمان با پلاسما درخشندگی ایجاد می کند، از این رو به آن تخلیه درخشندگی می گویند.
مکانیسم تمیز کردن پلاسما در درجه اول به "فعال شدن" ذرات فعال در پلاسما برای حذف لکه های سطحی متکی است. از نظر مکانیسم واکنش، تمیز کردن پلاسما به طور کلی شامل فرآیند زیر است: گازهای معدنی به حالت پلاسما برانگیخته می شوند. مواد گازی بر روی سطح جامد جذب می شوند. گروه های جذب شده با مولکول های روی سطح جامد واکنش می دهند تا مولکول های محصول را تشکیل دهند. مولکول های محصول به فاز گاز تجزیه می شوند. و بقایای واکنش از سطح حذف می شوند.

مهم ترین ویژگی فناوری تمیز کردن پلاسما این است که می تواند هر نوع بستری از جمله فلزات، نیمه هادی ها، اکسیدها و اکثر مواد پلیمری مانند پلی پروپیلن، پلی استر، پلی آمید، پلی وینیل کلراید، اپوکسی و حتی پلی تترا فلوئورواتیلن را تصفیه کند. این می تواند هم کل سطح و مناطق خاص و هم ساختارهای پیچیده را تمیز کند.